UVSOR Lunch Seminar (2005-02)

Date&Time: May 25, 12:00-12:35
Place: UVSOR Build. #304 (User's room)

Speaker: Dr. Kazuaki HOTTA
Affiliation: R&D Center Technology & Engineering Division Lamp Company,
Ushio INC.

Title: EUV lithography and DPP EUV sources


日時：５月２５日（水曜日）１２：００〜１２：３５
場所：ＵＶＳＯＲ棟３０４号室（共同利用研究室）

講演者：堀田 和明　博士

所属：ウシオ電機(株)ランプカンパニー技術本部R&Dセンター

題名：EUV露光と放電EUV光源

要旨：波長13.5nmのEUV光を使うEUV露光は、2010年頃からのLSI量産ラインへの導入
を狙い、開発が急がれている。講演では、開発困難な重大課題であるEUV光源につき
述べ、集光光学系の重要性に触れる。集光光学系の反射率を、ご指導により、UVSOR
を利用し測定している。